机械有限公司简介范文第1篇
1、市三圣机械制造有限责任公司，始建于2006年，现有职工63人，注册资金
业投资公司实现了股份改造合作，
表人吴在全。企业于
系列产品，获得成功。现已拥有自主研发专利
项和14
中小企业技术创新基金立项证书，
量体系认证证书;于
26.44亩，建设《
线项目》
新产品尼龙托辊生产车间
4000m2，金加工车间
1500m2。一个年产
具规模。
2、上，
主要股东吴在全总经理
源创投代表法人董事
3、自主研发的2600万元，企业于2012年5月与市金源创现为股份制合作企业，法定代2010年以来自主研发MCPA铸型改性尼龙6项、企业商标2011年3月获得科技部2012年3月获的系列产品质2010年经仁和区批准在南山工业园区征地200万件MCPA改性尼龙托辊及机械加工生产2012年3月，在南山工业园区出让土地内修建竣工了3000㎡，矿山机械整机制造车间1500m2，尼龙托辊库房600m2，实验办公150万件MCPA铸型尼龙产品生产基地已初销售收入421万元，利润4万元，税金2155.38%、高才琳副总经理13.85%，市金30.77%。 MCPA改性铸型尼龙在攀西地区内独一家，1个独有铸型尼龙产品配方。， 万元，
产品目前已在国内处于领先地位。
二、企业现状(产品介绍)
1、铸型尼龙产品可以替代金属，并在多个行业广泛采用，已在企业拥有6项专利，现在仁和区南山工业园区征地26.44亩，已修建竣工了3
产品应用范围较广，
将可取得丰厚的经济效益。关键技术
经碱催化、得到阴离子活性材料，
定量的高级塑料碳黑，硅晥偶联剂，
下进行化学反应，
助催化剂，在预热的模具内浇铸聚合而成。
电”和“阻燃”效果
材料，最终达到产品应有的质量和效果。
2、工艺：原料预热→真空脱水→加入添加剂→催化剂→真空下进行化学反应→解除真空→充氧保护→再加入催化剂→静态聚合→离心震动聚合→热处理→胚体冷加工。
三、产品市场及发展情况
国外美国的杜邦公司
其余国家纷纷仿效
产品不断增加，这个时间改性尼龙产品走向商品化得到高速发展，形成新的产业。尼龙是五大工程塑料之一，到有很好的本地和外地市场，二次真空化学反应聚合， ，还需在真空反应前加入比列适当的关联 1976年开发出超韧性PA产品投放市场，MCPA若需产品达到“防静 20世纪MCPA改性尼龙若在短期内转化加入真空最终加入 PA66产品后，90年代改性尼龙2012年，塑大车间及成果转化基地。由于改性铸型尼龙产品配入已内酰胺单体中，关键在于分子开环的时间上掌握上，
料的总需求量将达到200万吨，攀西地区为30-50万吨，但现在攀西地区无一厂家生产，大量的市场被外地商家占领。国内知名企业中国神马集团、中石化、平顶山三力塑业、省内的成都森发橡塑公司是我们的主要竞争对手。目前，攀西地区没有同类产品，只有少量的成都森发公司普通尼龙产品出售，性能与我公司生产的MCPA改性尼龙产品相比，相差甚远。我公司目前已拥有项专利，本土企业具有运输成本、价格、质量、售后服务等多项竞争优势。
机械有限公司简介范文第2篇
二、主要部门、岗位职能
公司共设立四个部门，分别为行政人事部、财务部、机械部、市场部。
一、行政人事部
行政人事经理1名 (1)行政岗位职责:
1、协助总经理做好综合、协调各部门工作和处理日常事务;
2、协助参与并起草公司发展规划的拟定经营计划的编制及各阶段工作目标分解;
3、 负责总公司综合性资料，组织并起草公司综合性的工作计划、总结、报告、请示等文件;
4、 负责公司通用规章制度的拟定、修改和编写工作，协助参与专用标准及管理制度的拟定、讨论、修改工作;对文件中的重要事项进行跟踪检查和督导，推进公司的管理;
5、 搜集和了解各部门的工作动态，掌握全公司主要活动情况，编写公司大事记;
6、 负责召集公司办公会议和其他有关会议，做好会议记录，根据需要撰写会议纪要，并跟踪、检查、督促会议的贯彻实施;
7、 监督执行规章制度和劳动纪律，处理员工奖惩事宜。对各岗位及其场所的劳动、卫生、安全情况进行定期及不定期检查;
8、 负责做好公司来宾的接待安排，组织、协调公司年会、员工活动，开展总评比和表彰活动;
9、 负责公司内外文件的收发、登记、传递、归档工作;
10、负责公司工程设备的管理;
11、负责公司员工活动的策划和组织;
12、负责公司档案管理工作;
13、加强部门之间的协调，为促进相互之间的团结做好工作; (2)人事岗位职责：
1、 负责公司人力资源工作的规划，建立、执行招聘、培训、考勤、劳动纪律等人事程序或规章制度;
2、 负责制定和完善公司岗位编制，协调公司各部门有效的开发和利用人力，满足公司的经营管理需要;
3、 根据现有的编制及业务发展需求，协调、统计各部门的招聘需求，编制/月度人员招聘计划，经批准后实施;
4、 做好各岗位的职位说明书，并根据公司职位调整组要进行相应的变更，保证职位说明书与实际相符;
5、 负责办理入职手续，负责人事档案的管理、保管、用工合同的签订;
6、 建立并及时更新员工档案，做好/月度人员异动统计(包括离职、入职、晋升、调动、降职等)
7、制定公司及各个部门的培训计划和培训大纲，经批准后实施;
8、 对试用期员工进行培训及考核，并根据培训考核结果建议部门录用;
9、 负责拟定部门薪酬制度和方案，建立行之有效的激励和约束机 制;
10、制定绩效评价政策，组织实施绩效管理，并对各部门绩效评价过程进行监督和控制，及时解决其中出现的问题，使绩效评价体系能够落到实处，并不断完善绩效管理体系;
11.、负责审核并按职责报批员工定级、升职、加薪、奖励及纪律处分及内部调配、调入、调出、辞退等手续;
12、做好员工考勤统计工作，负责加班的审核和报批工作
13、负责公司员工福利、社会保险、劳动年检的办理;
14、配合其他部门做好员工思想工作，受理并及时解决员工投诉和劳动争议事宜;
15、定期主持召开本部门工作例会，布置、检查、总结工作，并组织本部门员工的业务学习，提高管理水平和业务技能，保证各项工作任务能及时完成;
16、其他突发事件处理和领导交办的工作。
文员(1~2名 )岗位职责：
1、 完成公司、部门交办的事项，追踪结果及时汇报;
2、 完成日常的正常管辖范围内的工作;
3、 接听电话做留言记录、讯息处理;
4、 工作资料的保存、分类、归档、保管。
二、财务部
财务经理1名、会计1名、出纳1名
财务经理岗位职责：
1、建立并完善企业财务管理体系，对财务部门的日常管理、财务预算、资金运作等各项工作进行总体控制，提升企业财务管理水平;
2、根据企业中、长期经营计划，组织编制企业财务工作计划与控制标准;
3、根据企业相关制度，组织各部门编制财务预算并汇总，上报总经理审核，审批后组织执行，并监督检查各部门预算的执行情况;
4、组织会计人员进行会计核算和账务处理工作，编制、汇总财务报告并及时上报;
5、监控、预测现金流量，监测企业各项财务比率，确定合理的资产负债结构，建立有效的风险控制机制;
6、负责组织企业成本管理工作，进行成本预测、控制、核算、分析和考核工作;
7、及时汇报企业经营状况、财务收支及各项财务计划的具体执行情况，为企业决策层提供财务分析与预测报告，并提出支持性的建议;
8、根据企业经营方针和财务工作需要，合理设置财务部组织结构，优化工作流程，开发和培养员工能力，对员工绩效进行管理，提升部门工作效率和员工满意度;
出纳岗位职责：
1、办理现金收付和银行结算业务;
2、登记现金及银行存款日记账;
3、保管库存现金和各种有价证券;
4、保管有关印章、空白收据和空白支票;
5、积极配合银行做好对账、报账工作;
6、配合会计做好各种账务处理;
7、完成企业领导交办的其他相关工作。
会计岗位职责：
1、按照国家会计制度的规定，记账、核帐、报账做到手续完备、数字准确、账目清楚、按期报账。
2、编制会计报表要做到账目健全、账目清楚、日清月结、账证账务相符，报表要做到内容完整，数字清楚正确、报送及时。
3、按照经济核算原则，定期检查分析企业财务计划、成本计划和利润计划的执行情况，挖掘增收节支潜力，考核资金使用效果，及时向总经理提出合理化建议，当好企业参谋。
4、依照会计档案管理办法建立和管理财务档案，做到资料齐全、保密。
5、完成企业领导交的其他相关工作。
三、机械部
设备主管、机手、维修部、收发部 设备主管岗位职责:
1、负责组织、监督、检查、指导和协调设备租赁工作，组织机手安全教育和技术培训工作;
2、组织本公司外租供方准入资格的审查、登记、考核及年审工作;定期发布本公司外租供方目录;
3、根据本单位施工区域的设备实际租赁价格，结合公司设备租赁指导价，发布本单位设备租赁限价，同一区域、同一规格型号设备原则上不得高于公司指导价;
4、审核各项机械设备费用结算。严格执行公司限价规定，需要突破的报公司主管领导审批。注意量价双控的内容，严格执行上级有关规定。
5、负责定期设备维修保养及安全隐患排查，并组织安排设备维修人员及时处理设备故障;
6、协同上级制订新设备采购计划，组织设备的选型和申购等工作。
机手岗位职责：
1、所有主要机械和随机工具及附件均交由机手负责保管、保养和使用;
2、机械入场、专场和退场时，机手必须随机械调动，帮助托运和装卸，带齐附件，保证机械设备安全运输;
3、严格执行机械的保养制度，爱机护机，做好机械的保养工作;
4、严格执行安全操作规程，安全操作;
5、严格遵守施工操作规程，按照施工工艺要求施工;
6、协助配合设备维修人员做好机械设备的维护保养工作;
7、认真做好班前班中班后的检查工作，发现问题及时处理及汇报。
设备维修人员岗位职责：
1、负责公司设备的机械维修工作，按维修项目及时做好问题诊断与维修;
2、按设备保养手册及设备说明书制定保养计划建议，并按照计划实施保养工作;
3、根据库存情况提交备件采购申请表，负责备件的验收与急购备件的提交申请;
4、指导机手完成设备使用及简单保养工作;
5、协同部门主管做好日常设备的巡视检查工作，及时发现问题，处理隐患;
6、对所维修的设备和定期更换的备品备件必须建立安全台账;
7、按下达的维修预算，严控维修成本;
8、维修设备时做道工完料清。
设备收发部岗位职责：
1、负责路面工程设备的租赁、仓储、收发登记、租赁费用确认与回收等管理工作;、
2、负责清点核对库存备件、物资，按制度开具出、入库单，确保账目物相符;
3、负责对收发设备机具数量的准确性予以确认，并及时与承租人核对租赁费用并办理签证手续，确保租赁费用的回收;
4、配合部门上级领导完善设备租赁的各项日常工作。
四、市场部
市场部经理、业务专员
市场部经理、专员岗位职责：
1、统筹公司设备租赁、推广及客户关系维护等各项工作;
2、负责租赁市场目标客户的寻找、洽谈及合同签订;
机械有限公司简介范文第3篇
程有限公司租赁合同纠纷案
浙江省高级人民法院民事裁定书(2006)浙民二终字第248号
上诉人(原审原告)：上海龙纪建筑设备租赁有限公司。住所地。
法定代表人：郦娜，该公司总经理。
委托代理人(特别授权代理)：叶海娇，女。
委托代理人(特别授权代理)：胡力明，浙江素豪律师事务所律师。
被上诉人(原审被告)：中铁十五局集团第四工程有限公司。住所地。
法定代表人：谢金康，该公司总经理。
委托代理人(特别授权代理)：徐海明，浙江天程律师事务所律师。
上诉人上海龙纪建筑设备租赁有限公司(以下简称龙纪公司)为与被上诉人中铁十五局集团第四工程有限公司(以下简称中铁十五局)租赁合同纠纷一案，不服嘉兴市中级人民法院(2006)嘉民二初字第68号民事判决，向本院提起上诉。本院于2006年9月4日受理后，依法组成由审判员章恒筑担任审判长，代理审判员许江杰、陈玫参加评议的合议庭，于2006年10月30日公开开庭进行了审理。上诉人龙纪公司委托代理人叶海娇及胡力明、被上诉人委托代理人徐海明到庭参加诉讼。本案现已审理终结。
原审判决认定，被上诉人中铁十五局承建嘉兴港区房建工程，郭杭永为该工程的项目部经理，工程的28#、29#、32#楼内部承包给陈仁千施工。陈仁千又将工程交与鲁三喜承建。鲁三喜遂私刻了中铁十五局嘉兴港区房建工程项目部之公章，于2004年7月15日以该项目部的名义与龙纪公司订立了租赁合同，在合同上加盖了该私刻之章，鲁三喜以中铁十五局委托代理人的名义在合同上签名，又冒签了郭杭永之名。该合同订立时鲁三喜未向龙纪公司提交中铁十五局的委托书。鲁三喜在公案机关供述：
1、合同订立时支付的1000元押金支票系中铁十五局开给黄建勇的空白支票，其从黄处取得后，用于支付合同押金;
2、该批租赁物，30吨存放于被告工地，200吨已归还龙纪公司，其余从龙纪公司处提货后直接转卖他人。2005年6月30日，龙纪公司向上海市闵行区人民法院提起诉讼，主张中铁十五局向其租用钢管、扣件，但到期未归还租赁物，未支付租赁费，请求判令中铁十五局支付租金、维修费和违约金等。中铁十五局抗辩鲁三喜私刻项目部公章与龙纪公司订立租赁合同，龙纪公司与中铁十五局间无合同关系。闵行区人民法院(2005)闵民二(商)初字第1092号民事裁定书确认虽然租赁合同加盖了中铁十五局项目部的公章，但该公章与中铁十五局公司备案的印章不符，且从案外人鲁三喜在公安机关所作的笔录可以得知，该枚公章是由鲁三喜私自刻制。另外租赁物的收料、还料都由鲁三喜个人在一手操作，中铁十五局也从未支付过租赁费，故真正与龙纪公司发生租赁关系的为案外人鲁三喜，并非中铁十五局。闵行区人民法院裁定驳回了龙纪公司的起诉。双方当事人均服判，未提出上诉。2006年3月17日，龙纪公司以前次同样的事实和理由再次向闵行区人民法院提起诉讼，经该院裁定中铁十五局提出的管辖权异议成立，将本案移送原审法院。龙纪公司诉称：双方当事人签订过租赁协议，并已经实际履行，请求判令中铁十五局支付租金2554429.73元，支付杂费及修理费等28644.92元;支付逾期付款违约金2010937.1元等。中铁十五局辩称其从未与龙纪公司签订过租赁合同，也未收到租赁物，现龙纪公司以同样的事实和理由再次诉讼，显属无理。请求驳回龙纪公司的诉讼请求。
原审法院审理认为：龙纪公司提出的中铁十五局向其租用钢管、扣件，欠其租赁费等请求，已经闵行区人民法院(2005)闵民二(商)初字第1092号民事裁定书确认双方不存在合同关系，真正与龙纪公司发生租赁关系的是案外人鲁三喜，该院裁定驳回了龙纪公司的起诉。双方当事人均服判，未提出上诉。现龙纪公司为此再行诉讼，就本次诉讼新提交的证据尚不能证明其主张的事实，故其请求没有证据证实，不予支持。综观本案证据，虽然龙纪公司提出鲁三喜的行为是职务行为，但在案证据反映鲁三喜不是该工程的项目部经理，最多也只能认定为中铁十五局承建工程的工作人员,故其只能在中铁十五局授权的范围内从事活动。龙纪公司并未举证中铁十五局授权鲁三喜与龙纪公司签订租赁合同的相关证据,因此鲁三喜的行为是一个无权代理行为。无权代理人的行为应由被代理人承担责任的条件,或是被代理人事后追认,或是构成表见代理。本案中没有中铁十五局的事后追认行为。关于是否构成表见代理的问题,龙纪公司的唯一依据是订立合同时鲁三喜提供的中铁十五局开出的1000元押金支票。经查，该支票是中铁十五局(空白收款人)开给案外人黄建勇,用于退回押金,鲁三喜也交待了是从黄建勇处取得,用于了本案租赁合同的押金支付。因此是鲁三喜虚构了中铁十五局开出支票给龙纪公司这一事实。虽然中铁十五局开具空白支票确属不规范，但其并无出票给龙纪公司的意思表示;其二，合同约定押金为标的的10%,而龙纪公司主张的租赁费达250余万元，因此仅1000元的金额距标的10%差距甚大，龙纪公司在交易过程中具有谨慎义务，其仅凭鲁三喜的小金额的支票即相信鲁三喜代表了中铁十五局,而没有向中铁十五局进行核实或依法进行催告,属于轻信，对此龙纪公司具有过错显见。该支票在闵行区人民法院(2005)闵民二(商)初字第1092号案件审理中也未确认。由于龙纪公司有过错，故其主张鲁三喜的行为构成表见代理，不能成立。最后，关于龙纪公司当庭提交的送货单用于证明合同实际履行方为中铁十五局的问题,经查，该些送货单本身不能反映租赁物由中铁十五局收取，中铁十五局也不认可收到了相应的租赁物。虽然鲁三喜供述有30吨租赁物用到了工地上，但鲁此述并未得到工程项目部经理郭杭永和实际承包人陈仁千的确认，是否属实尚无法确认，即使属实也是物的流向和用途问题,法院不能根据物的流向和用途来确认合同的相对人,因此龙纪公司向中铁十五局主张合同权利缺乏依据。根据《关于民事诉讼证据的若干规定》规定，当事人对自己提出的诉讼请求所依据的事实没有证据或证据不足以证明当事人的事实主张的，由负有举证责任的当事人承担不利的后果。在本案中，由于龙纪公司所举证据尚不足以证明其所主张的事实，属举证不能，其诉讼请求不能支持。该院依照《中华人民共和国民事诉讼法》第六十四条第一款、第一百二十八条，最高人民法院《关于民事诉讼证据的若干规定》司法解释第二条第二款之规定，于2006年7月28日判决：驳回上海龙纪建筑设备租赁有限公司的诉讼请求。案件受理费32980元，由上海龙纪建筑设备租赁有限公司负担。
宣判后，龙纪公司不服，向本院上诉称：与龙纪公司签订合同的鲁三喜是被上诉人中铁十五局就本案所涉工地的事实承办人，有安全责任书、鲁三喜对外的调解协议为证，故原审判决认定事实错误。龙纪公司与中铁十五局有事实上的租赁关系，租赁物也确在被上诉人工地使用，被上诉人应当承担支付租金、杂费的民事责任。请求撤销原判，依法改判。
被上诉人中铁十五局答辩称：本案当事人间不存在民事法律关系，上海闵行区人民法院(2005)闵民二(商)初字第1092号生效民事裁定书已经确认真正与龙纪公司发生租赁关系的是案外人鲁三喜，本案双方不存在合同关系，请求驳回上诉，维持原判。
上诉人龙纪公司在二审时提交了二组证据材料，一为对驾驶员(证人)张杰、叶剑飞的调查笔录及发料单，二是车运费列表和内部运费明细，证明上诉人和被上诉人间存在租赁关系。庭审时，本院同意龙纪公司要求证人张杰、叶剑飞到庭作证的申请。张杰、叶剑飞均承认调查笔录内容属实，他们与龙纪公司是一年一签的合作运输关系，曾经送货去嘉兴工地，共五次。中铁十五局对龙纪公司提供的证据材料质证认为，首先，上诉人提供的证据材料不属于二审新的证据，与本案无关联性。其次，两证人的身份与龙纪公司具有利害关系，证人所陈述的送货地址在嘉兴地图上不存在，上诉人在上诉状中陈述为被告自提货物，与现陈述的送货内容相矛盾。因此，证人证言亦不具有真实性。本院认为，上诉人龙纪公司本应在原审期间提供当前在二审提交的发料单、货物运输合同、驾驶员的调查以及其内部的运费列表等证据材料，但由于原审时争议焦点未集中在货物是否交付上，为利于查明事实，该二组证据可作为二审新的证据。但因该些证据的真实性、关联性受被上诉人之置疑与否认，且车运费列表和内部运费明细等系上诉人单方制作，证人与上诉人具有协作关系，证人证言也不能证明交货的实际数量，故上诉人提交的二组证据不予采信。
原判认定的事实，当事人不持异议的部分，本院予以确认。
本院认为：龙纪公司曾于2005年6月30日向上海市闵行区人民法院提起诉讼，主张中铁十五局向其租用钢管、扣件，请求判令中铁十五局支付租金、维修费和违约金等。闵行区人民法院经审理作出(2005)闵民二(商)初字第1092号民事裁定，认定“龙纪公司与中铁十五局不存在合同关系，真正与龙纪公司发生租赁关系的是案外人鲁三喜”，驳回了龙纪公司的起诉。该裁定因当事人未上诉而发生法律效力。根据《关于民事诉讼证据的若干规定》第九条规定，不管是判决抑或裁定形式，裁判文书一经生效，即具有法律拘束力。生效裁判文书认定的事实，当事人亦无须举证。现今，龙纪公司在未能提供充分的新证据证明与中铁十五局存在租赁关系的情况下，再次以同样的当事人、相同的事实和理由向人民法院提起诉讼，属于重复诉讼。依照《中华人民共和国民事诉讼法》第一百零八条、最高人民法院《关于适用<中华人民共和国民事诉讼法>若干问题的意见》第186条、最高人民法院《关于民事诉讼证据的若干规定》第九条之规定，裁定如下：
一、撤销嘉兴市中级人民法院(2006)嘉民二初字第68号民事判决;
二、驳回上海龙纪建筑设备租赁有限公司的起诉。
一、二审案件受理费各50元，由上海龙纪建筑设备租赁有限公司负担。
本裁定为终审裁定。 审 判 长 章恒筑 代理审判员 许江杰 代理审判员 陈 玫
机械有限公司简介范文第4篇
化学抛光, 表面完美性好, 但是平行度、平整度、抛光一致性差;机械抛光一致性、材料表面平行度好, 但是粗糙度较大;而化学机械抛光集化学抛光和机械抛光的优点, 既能够获得较完美的表面, 又可以得到较高的抛光速率, 是能够实现全局平坦化的唯一方法。
化学机械抛光技术 (CMP, 化学机械平坦化, 化学机械研磨) , 80年代末源于IBM公司, 最早是由IBM在1991年在64MbDRAM的生产中获得成功的应用, 从90年代开始进入量产, 具有成本低、方法简单等优点, 而且该方法能够使晶片表面真正的实现平坦化, 并几乎可以用于对所有的表面材料进行加工, 因此在工业界得到了广泛认可, 世界各国和地区都对此项技术进行研究和开发, 并且该行业呈现出了较强的竞争势头。
与传统的纯机械或纯化学的抛光方法不同, CMP技术是通过化学的和机械的组合物技术, 通过两者技术相互结合避免了由单纯机械抛光造成的表面损伤, 利用了磨损中的“软磨硬”原理, 即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光, 将化学腐蚀和机械磨削作用达到一种平衡。化学机械抛光是在一定压力下及抛光浆料存在下, 被抛光工件相对于抛光垫做相对运动, 借助于纳米粒子的研磨作用与氧化剂的腐蚀作用之间的有机结合, 在被研磨的工件表面形成光洁表面。
2 影响抛光效果的因素
2.1 抛光压力、流速、抛光盘转速、抛光头转速
抛光压力对抛光速率和抛光表面质量影响较大, 是抛光工艺中的一个重要参数。一般而言, 压力越大, 抛光速率越大, 也正是由于薄膜表面凹凸部位所受压力不同, 导致了去除速率的差异, 凸出的部位去除速率高, 而低凹部位去除速率低, 从而达到平整。但是高压抛光是产生表面缺陷 (划伤、弹性形变、应力损伤) 的主要来源。压力大时, 磨料划过表面产生的划痕深造成表面划伤。摩擦力增大, 产物大量的热量, 层间抛光液又少, 不能起到很好的润滑、散热作用, 产生局部温度梯度, 化学作用增强, 抛光速率加大, 更易产生桔皮等抛光缺陷。另外, 压力大, 抛光后氧化层表面活性大, 更易吸附杂质等颗粒, 使之难以清洗。同时, 抛光转速增加, 会引起抛光速率的增加, 但是抛光转速过高时, 将会导致抛光浆料在抛光垫上分布不均匀、化学反应速率降低和机械作用增强, 从而影响抛光速率和质量。
2.2 抛光垫
化学机械抛光中抛光垫的主要作用是输送抛光液, 传导压力和打磨发生化学反应的材料表面。抛光布的材料通常为聚氨酯或聚酯中加入饱和的聚氨酯。抛光布的各种性质严重影响到抛光晶片的表面质量和抛光的速率, 主要有抛光布的纤维结构、孔的尺寸、抛光布的粘弹性、抛光布的硬度和厚度、耐化学系和反应性等。硬布有助于达到全局平面化, 但是其质量传输能力不够, 因此不能及时地将新鲜的浆料传输到抛光表面, 也不能将废料及时地带走, 这样就大大降低了对抛光表面的CMP作用和抛光的一致性, 因而也就降低了抛光速率。软布的多孔结构和纤维绒毛能提高浆液的传输, 但是因为步的刚性不够, 很难达到抛光全局平面化。为了均衡全局平面化和一致性这两方面的要求, 采用双层结构。顶部硬的表面提供好的全局平面化, 底部弹性好, 提供大范围的良好接触, 保持好的一致性。
2.3 抛光液 (组成:磨料、溶剂、添加剂等;制备方法:加料顺序等)
2.3.1 磨料类型、浓度、尺寸
磨料在化学机械抛光中的主要作用是将抛光对象表层的凸部去除, 提高工件表面的平整度。半导体加工工艺中, Si O2、Al2O3、Ce2O3是最常用的磨料, 其中Ce2O3磨料常用于玻璃抛光。由于氧化铈研磨颗粒表面具有对于氧化硅极强的活性的路易斯酸位置, 可与其形成氧桥键结, 特别适用于浅沟槽隔离制程, 具有提高选择比的优点, 可提供足够的研磨速率。磨料颗粒的硬度对去除速率有直接的影响, 由于加大了机械作用, 去除速率随磨料颗粒硬度的增加而增大。同时, 磨料含量在一定范围时, 能够提高抛光速率, 但是磨料的含量过高时, 容易导致抛光液流动性较差, 造成管道堵塞, 从而增加成本, 同时对材料表面的抛光效果也较差。
半导体加工工艺中使用的绝大部分化学机械抛光磨料的平均颗粒尺寸在50-200nm之间, 大颗粒的磨料会在晶片表面产生微小的擦痕, 破坏产品质量, 对化学机械抛光加工的效果有直接影响。
2.3.2 p H值
p H值影响被抛光表面和磨料材料的分解和溶解度、被抛表面膜的形成。抛光液中磨料的悬浮程度、即胶体的稳定度, 也受到p H值的影响。研磨液的p H值是液体介质中酸碱度的表征, 在CMP应用过程中, 许多研磨液是按“缓冲”溶液配制的, 稍加稀释或添加少量的酸或碱, 其p H值的变化不大。由于化学机械抛光时主要以化学腐蚀作用为主, OH-会与硅原子发生反应, 其反应速率直接会影响硅片的抛光速率, 因此抛光液的p H值通常要求处在一个比较稳定的范围。同时, 抛光液p H值的设定通常需要跟抛光压力、抛光温度、抛光材料等参数相匹配。
2.3.3 密度
对于研磨液而言, 其密度与研磨液中磨料的含量相关。
2.3.4 粘度
粘度, 又称动力粘度, 是牛顿流体粘滞力的量度参数, 是牛顿粘性定律中剪切力和法向速度梯度之间的比例常数。研磨液的粘度和温度有关, 并且, 粘度影响研磨液的传递特性, 还是磨料分散体系中胶凝化的重要参数。
2.3.5 ζ电位
当颗粒与流体相接触时 (例如研磨颗粒在研磨溶液中时) , 考虑一个表面带负电荷并均匀分布的颗粒, 在该颗粒非常临近的区域包围着一层正电离子, 随着与该颗粒距离的增加, 正负离子的浓度逐渐减少, 最终和流体主体相中的浓度相等。主体相中的离子和颗粒所吸引的离子间的电荷差异形成ζ电位。ζ电位可以用于预测和控制CMP研磨液中胶体分散的稳定性。ζ电位越大, 研磨液的分散性就越好, 因为带电的颗粒会排斥其他颗粒, 从而避免彼此间的聚结。
3 结语
抛光压力、流速、抛光盘转速、抛光头转速、抛光垫通常为影响化学机械抛光的机械因素, 而抛光液的组成为影响抛光效果的决定性因素, 各大公司和研究所也通常着重于抛光液组成的研究, 同时根据抛光对象的不同对抛光液的组成进行调整, 以获得较好的抛光速率和抛光效果。
摘要：化学机械抛光工艺, 是一种利用固相反应的抛光原理的加工方法, 就是使用一种含磨料的混合物和抛光垫抛光集成电路表面。
关键词：化学机械抛光,影响因素
参考文献
机械有限公司简介范文第5篇
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江阴商校实训中心
在江阴经济开发区领导的关心和支持下，在前后共投入近2100万元的基础上，我校建筑面积达8500平方米的实训中心于2007年6月奠基，于2008年8月竣工。该中心共五层，设有电子商务室、物流实验室、中(西)餐服务实训室、财会手工实训室、业务中心实验室、电子电工实验室、机床电路实训室、电工工艺装配室、PLC实验室、CAD室等36个实验实习室，是我校电子商务、市场营销、物流、财会、饭店服务管理、计算机、电子技术应用、机电一体化等10多个专业进行实验、实训教学的一个重要场所。
该中心将始终坚持“面向实践，满足教学，能力本位，素质第一”的基本原则，以培养学生所具备的基本技术，基础能力，综合素质为第一需求，主要用于学生实习实训。同时为了提高实训中心的综合利用率，充分利用实训室的教学设备、实训场地和人力资源，我校计划利用业余时间对社区居民开放，对社会人员开展职业技能培训和社区教育培训，为江阴经济开发区服务，实现资源共享。